磁敏式触觉传感技术
合作区域:
拟投入总金额: 万元
所属地域: 镇海区
技术领域: 金属磁性材料
技术交易金额: 0.0万元
发布日期: 2026-03-24
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信息描述
技术简介:

本成果针对当前普遍采用刚性霍尔元件的磁性触觉传感器柔韧性不足、灵敏度偏低等问题,提出了在柔性衬底上制备与刚性 Si 衬底性能相当的磁敏式触觉传感器方案。柔性磁电功能材料与器件团队通过多场耦合有限元设计与 3D 打印技术实现磁性薄膜中磁结构的可控设计,能够同时对压应力和剪切力产生响应,其响应速度约为 50 ms,噪声水平低于 0.01%,循环稳定性超过 30 万次,展现出卓越的力学耐久性和超分辨力检测能力。具备10×10 @ 0.25 cm² 的柔性磁敏传感阵列制备工艺,器件可在各向 30% 以上的拉伸应变下保持电阻、磁电阻及灵敏度等关键性能的稳定。