新型敏感材料与薄膜结构在MEMS传感器中的应用研究
合作区域: 国内
拟投入总金额: 0.0万元
所属地域: 镇海区
技术领域: 信息技术服务
技术交易金额: 万元
截止日期: 2027-05-27
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信息描述
研发背景:
主要内容:

针对高精度传感器对灵敏度、长期稳定性及温度适应性的严苛要求,研究新型敏感材料与复合结构,旨在提升核心传感单元的性能。核心是开发低漂移、高灵敏度的敏感材料与功能性薄膜。具体需求如下:1、新材料体系探索与评价:需研究并筛选适用于MEMS压阻、电容或谐振式敏感元件的先进材料,如纳米晶/非晶复合金属薄膜、掺杂硅基化合物(如SiC)、功能聚合物或二维材料。重点评估其压阻系数、机械强度、热稳定性及与标准CMOS/MEMS工艺的兼容性。2、低应力复合薄膜结构设计:需设计具有应力缓冲、温度自补偿功能的多层薄膜复合结构。通过材料匹配与微结构设计,主动抑制封装应力和热失配引起的零点漂移与灵敏度温漂,目标是将关键温度系数(如TC0、TCS)降低一个数量级。3、可制造性与性能验证:所研发的材料与结构需具备可行的微纳加工制备路径。需建立从晶圆级制造到器件封装的完整工艺原型,并通过可靠性测试(如高温存储、温度循环)验证其长期稳定性(如零点漂移<0.1%FS/年)与重复性。

前期研究开发基础:

公司秉承着以智能分析算法为技术核心,以行业痛点需求为研发核心的“双核”驱动理念,确保公司的技术优势和创新活力,在交通运输、智能制造、工业4.0领域,以一流的技术为客户提供一流的产品和服务。

现有的生产和研发的设备:
攻关目标:

针对高精度传感器对灵敏度、长期稳定性及温度适应性的严苛要求,研究新型敏感材料与复合结构,旨在提升核心传感单元的性能。核心是开发低漂移、高灵敏度的敏感材料与功能性薄膜。具体需求如下:1、新材料体系探索与评价:需研究并筛选适用于MEMS压阻、电容或谐振式敏感元件的先进材料,如纳米晶/非晶复合金属薄膜、掺杂硅基化合物(如SiC)、功能聚合物或二维材料。重点评估其压阻系数、机械强度、热稳定性及与标准CMOS/MEMS工艺的兼容性。2、低应力复合薄膜结构设计:需设计具有应力缓冲、温度自补偿功能的多层薄膜复合结构。通过材料匹配与微结构设计,主动抑制封装应力和热失配引起的零点漂移与灵敏度温漂,目标是将关键温度系数(如TC0、TCS)降低一个数量级。3、可制造性与性能验证:所研发的材料与结构需具备可行的微纳加工制备路径。需建立从晶圆级制造到器件封装的完整工艺原型,并通过可靠性测试(如高温存储、温度循环)验证其长期稳定性(如零点漂移<0.1%FS/年)与重复性。

成果形式:

公司秉承着以智能分析算法为技术核心,以行业痛点需求为研发核心的“双核”驱动理念,确保公司的技术优势和创新活力,在交通运输、智能制造、工业4.0领域,以一流的技术为客户提供一流的产品和服务。