一种包覆结构的二硼化钛-镍薄膜及其制备方法
合作区域:
拟投入总金额: 万元
所属地域: 象山县
技术领域: 有色金属冶金
技术交易金额: 0.0万元
发布日期: 2026-04-13
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信息描述
技术简介:

本发明涉及一种具有包覆结构的二硼化钛-镍薄膜,其特征在于该TiB2-Ni薄膜是以金属Ni为连续相,TiB2晶粒为弥散相原位复合而成,在该TiB2-Ni薄膜中,金属Ni以三维连续胞状结构均匀构成薄膜的基本构架,而TiB2晶粒则以颗粒状均匀的填补在胞状结构内部,形成金属Ni均匀包裹TiB2晶粒的包覆显微结构,其中TiB2含量为60-95at.%,Ni含量为5-40at.%。本发明的包覆结构的TiB2-Ni薄膜表现出了良好的韧性和很高的硬度,这极大扩大了此薄膜的应用范围;同时采用双靶共溅射磁控溅射技术操作方便,通过工艺条件的调控可以很好的控制TiB2-Ni薄膜材料的组成、结构和性能,并且该方法无需后处理工序,制备周期短,成本低,可复现性好,便于实现工业化生产。

专利信息:
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中国 发明专利 CN103160777B