本发明公开了一种纳米复合结构的V-Al-N硬质涂层,成分表示为(V1-xAlx)N,其中,1-x为0.41~0.6,x为0.4~0.59,在保证较低摩擦系数的同时,能够保证具有较高的硬度,特别适合作为刀具涂层。本发明公开了一种纳米复合结构的V-Al-N硬质涂层的制备方法,包括以下步骤:基体清洗;沉积涂层:在真空室中,将Al靶安装在中频阴极上,V靶安装在直流阴极上,通入Ar气和N2气,通过调节Al靶的功率和V靶的功率,在250℃~500℃和0.3Pa~1.0Pa条件下,对基体溅射沉积纳米复合结构的V-Al-N硬质涂层,其可操作性强、可控性好、易于工业化生产,具有较好的经济效益。
| 专利所属地区 | 专利类型 | 专利号/申请号/登记号 | 专利授权日期 | 专利证书图片 |
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| 中国 | 发明专利 | CN102534493B |