技术经纪人
行业专家
技术经纪人
行业专家
合作区域: 
拟投入总金额: 
所属地域: 
技术领域: 
发布日期: 
登录后查看。
信息描述
技术简介：
本发明公开了一种氧化亚锡织构薄膜及其制备方法，本发明采用电子束蒸发法在衬底上依次沉积得到氧化亚锡主体层和金属氧化物覆盖层，通过金属氧化物覆盖层的作用改变氧化亚锡薄膜的表面能，进而达到控制热处理过程中氧化亚锡主体层结晶取向，从而得到择优取向为(101)的氧化亚锡织构薄膜。本发明的氧化亚锡织构薄膜对衬底要求不高，采用普通的石英即可，且制备工艺简单，成本低廉，采用电子束蒸发法，可大面积均匀成膜，适用于商业生成。
专利信息：
| 专利所属地区 | 专利类型 | 专利号/申请号/登记号 | 专利授权日期 | 专利证书图片 |
|---|---|---|---|---|
| 中国 | 发明专利 | CN103774098B |
微信扫码⇒移动端
微信扫码⇒公众号