项目在KNN 无铅压电薄膜体系中采用全新的设计思路制备高性 能外延单晶压电薄膜。核心技术包括采用磁控溅射法制备NN 和KNN 单晶外延薄膜;调控纳米反相畴在面内的尺寸、形状和分布,形成面 内分布均匀的、尺寸均一、形状固定、高密度柱状纳米反相畴;采用 扫描激光振动计(LSV)技术测薄膜压电性能,精准可靠;精细的微 结构表征。目前实验室阶段获得高性能KNN 无铅压电薄膜材料。