5月6日,“极大规模集成电路制造装备及成套工艺”国家科技重大专项(02专项)实施管理办公室和总体组在宁波保税区组织召开了02专项正式验收会。该区企业浙江金瑞泓科技股份有限公司牵头承担的“200mm硅片研发与产业化及300mm硅片关键技术研究”项目顺利通过了验收。
本次验收会的验收专家组由中国半导体行业协会副理事长、02专项咨询委专家徐小田,华大半导体技术有限公司总会计师姜军成,02专项咨询委专家郑敏政,02专项办特聘专家马振宇等17位业内顶尖专家组成。会上专家组成员听取了项目完成情况报告和现场测试报告,审阅验收资料、查看项目审计报告,抽查原始凭证、材料清单等相关资料,进行了现场考察。经过验收专家组问询、讨论和逐项打分,一致同意项目通过验收。
金瑞泓科技承担的02专项自2010年10月立项以来,宁波保税区地方政府配套经费6423万元按期足额到位,有效推动了项目取得阶段性研究成果和顺利实施。该项目执行期5年,累计实现8寸硅片3.009亿元销售。申请专利54项,其中发明专利36项、技术标准11项、新产品12项。培养了11名博士,30名硕士,引进了1名国际专业人才,培养国内知名专家2名,浙江大学为企业培训105人次。项目改扩建厂房和净化间,建成了月产10万片200mm硅片的生产线、产业化平台、测试平台及人才培养平台。金瑞泓科技生产的200mm硅片占目前国产200mm硅片市场的64%,占200mm硅片国内市场(含进口硅片)的6.3%。
验收会上中国科学院微电子研究所所长叶甜春做总结发言,叶甜春指出,集成电路产业是信息技术产业的核心,重大专项实施以来,我国集成电路产业技术水平和规模迅速提升,但作为集成电路制造业最大宗的关键材料,大硅片一直依赖进口,严重制约我国集成电路产业竞争力和供应链安全,也是02专项核心任务之一。希望金瑞泓科技继续保持国内半导体硅片行业的龙头企业优势,进一步加大200mm硅片的市场开发力度,推广相关成果应用,以更加开放包容的姿态将企业做大做强。
管委会副主任汪闻勇到会并致辞,会上寄望金瑞泓公司以此为新起点,听取专家的意见及建议,进一步攻坚克难,并继续做好引领全区区域转型的排头兵,起好转型升级中的支撑引领作用。
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我国硅片行业在技术和设备上长期落后于国外先进水平,但硅片作为集成电路和分立器件制造的核心基础材料,具有不可替代性,在整个半导体产业链中占据重要位置,是半导体产业发展的核心环节之一。随着IC向着VLSI/ULSI日新月异的发展,硅片的尺寸越来越大,目前200mm、300mm硅片已成为工业化的主流。从全球市场来看,硅片市场,尤其是大尺寸半导体硅片市场具有较高的垄断性,日本、美国和德国及中国台湾地区销售份额高达90%。因此,提升我国半导体硅片的整体技术水平是振兴民族半导体工业、发展现代化信息产业的重要环节。金瑞泓科技作为国内唯一具有硅单晶锭、硅研磨片、硅抛光片、硅外延片完整产业链的半导体企业,长期专注于半导体硅片的研发与生产,近年来更是克服众多困难致力于高端大尺寸半导体硅片国产化工作,不断提升国产200mm半导体硅片的质量水平,凭借其技术与研发优势、高端定位和质量优势、规模和行业先发优势、产业链上下游整合优势,实现了200mm半导体硅片的大批量生产,打破了国外对200mm半导体硅片高度垄断的局面,极大地缩小了我国与国际水平之间的差距,为我国建立一条从原料、设备、器件生产的完整集成电路产业链,加快推进我国集成电路的自主创新和可持续发展贡献力量。由中国半导体行业协会在2015年首次主办的的中国半导体材料十强企业评选中,金瑞泓科技在2015年、2016年连续荣获第一名。
信息来源:宁波保税区工业科技合作局