本项目为自主研发的高分辨模块化显微成像系统，适合对生物活细胞 及第三代半导体材料的检测。该系统结合光学衍射层析、双光子荧光和宽 场荧光成像模块，可对样本进行长时程、无损伤的非标记或特异性三维成 像。同单模块显微成像系统相比，本系统可以实现对样品全局形貌和局部 细节的并行观测，即实现一种兼备广度和深度的新型成像技术。该项目也 包括自主研发的飞秒光纤激光器作为照射光源，其波长覆盖可见光区至近 红外区的多个波段。 项目需求：本项目开发的高分辨模块化显微成像系统及飞秒光纤激光 器可满足下列需求：三维光学高分辨率成像探测；第三代半导体材料的无 损三维光学位错检测方案；精密加工领域的双光子激光直写；手术/医美 领域的激光应用