圆锥滚子球基面曲率半径精度要求±0.5μm,表面粗糙度Ra<<0.1μm;传统轮廓仪接触测量效率低,白光干涉法因曲面曲率导致干涉条纹畸变。
已开发基于Mirau干涉物镜的3D测量模块;具备曲面干涉图样矫正与相位解包裹算法;拥有轴承行业精密测量经验。
曲率半径测量精度±0.3μm,粗糙度Ra测量重复性<<5%,检测时间<<30秒/件,实现滚子全数检测替代抽检。
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