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一种耐高温纳米硅薄膜二极管及其制备技术

合作区域:

拟投入总金额: 万元

所属地域: 余姚市

技术领域: 高性能橡胶

技术交易金额: 100.0万元

发布日期: 2023-10-13

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信息描述

技术简介：

该成果是一种用热丝化学气相沉积(HWCVD)方法进行低成本的耐高温二极管制备的技术，它采用高熔点的钨或钽丝作为催化分解热丝，对通入生长腔体中的气体进行快速分解，通过控制热丝温度、H2稀释比、衬底温度和生长气压等参数，可以实现不同导电类型的纳米硅薄膜的沉积和相关二极管的制备，制备的纳米硅薄膜大面积均匀，载流子浓度和迁移率可控性好。