①借助多模态大模型,实现一台设备调优后自动生成其余设备的适配参数,缩短换型与调试周期。 ②融合检测数与工艺参数,分析不良波动与上下游参数的关联,自动给出跨工序调参建议并验证效果。
无
同型号设备参数快速迁移 下游工艺自动闭环优化
实现一台设备调优后自动生成其余设备的适配参数