气体质量流量控制器可以对气体质量流量做精密控制。作为重要的设

备核心模块产品，广泛应用于新能源、化学、石油化工、医药、环保、

特种材料制造、真空等众多领域的科研和生产中。本项目旨在突破微

量程气体流量敏感元件及核心控制元件微型比例阀的关键科学问题及

技术，研制具有自主知识产权的气体微小质量流量控制器系统，在氢

燃料电堆气密性检测仪等领域应用验证，拟解决的关键技术内容：

1．基于电-机械敏感性通径技术与主承载增强的微型阀耐高压、低功

耗、长寿命多目标智能设计技术； 2．基于微通道芯片技术的微量程

气体层流元件结构设计； 3．基于微通道蚀刻技术的微流量层流元件

制造工艺与微型比例阀高可靠制造技术； 4．质量流量控制器快速响

应流量控制算法研究。

目前已经开展了质量流量控制器中微型比例阀相关的研制工作，已完成样机试制。流量敏感元件已完成功能验证，控制器整机设计已完成，待试制工程样机。
目前已投入资金500万元，并联合北京航空航天大学，中国计量大学的教授、副教授、硕博研究生二十余人开展相关工作。

1、质量流量精度：±0.2%；压力精度：1atm 以上±0.5%；1atm 以下

±0.07PSIA；工作压力：11.5-160 PSIA-；控制范围：0.01%-100%F.S；

温度精度：±0.1%℃；温度范围：-10-60℃；传感器响应时间：<1ms；

防护等级：≥IP67。 2、气体质量流量控制器在氢燃料电池和其他新能

源技术（如太阳能电池、储能技术）领域应用广泛，对于保证工艺质

量和危险气体安全使用起到重要作用。因此，针对新能源领域对新一

代流量测量传感技术的迫切需求，本项目致力于突破气体质量流量控

制器的核心技术壁垒，自主研发拥有核心自主知识产权的气体微小质

量流量控制器，并实现其规模化国产替代，增强我国新能源产业的自

主创新能力及提升装备国产化率。 3、预计产生论文 sci 论文 4 篇，发

明专利 2 篇，新产品销售额 5000 万元。

1、质量流量精度：±0.2%；压力精度：1atm 以上±0.5%；1atm 以下

±0.07PSIA；工作压力：11.5-160 PSIA-；控制范围：0.01%-100%F.S；

温度精度：±0.1%℃；温度范围：-10-60℃；传感器响应时间：<1ms；

防护等级：≥IP67。 2、气体质量流量控制器在氢燃料电池和其他新能

源技术（如太阳能电池、储能技术）领域应用广泛，对于保证工艺质

量和危险气体安全使用起到重要作用。因此，针对新能源领域对新一

代流量测量传感技术的迫切需求，本项目致力于突破气体质量流量控

制器的核心技术壁垒，自主研发拥有核心自主知识产权的气体微小质

量流量控制器，并实现其规模化国产替代，增强我国新能源产业的自

主创新能力及提升装备国产化率。 3、预计产生论文 sci 论文 4 篇，发

明专利 2 篇，新产品销售额 5000 万元。