量程范围分3个等级:
MEMS工艺(微机电系统)CT传感器在低量程、高精度的测量要求下展示出显著的优越性,是具有微型化、集成化、高批量一致性等特点的性能可靠的传感器。基于MEMS工艺的硅玻璃结构温度电导率双参数集成微纳传感器有效集成了各个灵敏功能区,因其微型化、高精度、易于批量制备的特点,让我们对其在新能源汽车领域实现高精度低量程的电导率监测应用的前景充满信心。
(1)采用MEMS批量制造技术制备电导率测量叉指电极和温度电极;
(2)采用高精度信号采集和处理模块及电磁屏蔽和隔离技术制备信号采集电路;
(3)采用温度补偿方法进行电导率高精度测量。
(4)电磁兼容性EMC(汽车级要求)
(1)高精度测量电导率传感器5套;
(2)电导率传感器研究报告1份;
(3)以甲方名义申请发明专利1项,实用新型专利1项;
(4)提供电导率传感器的性能评价指标、试验方法及使用说明书;
(5)负责提供批产时传感器的关键材料供应渠道和对甲方技术人员的培训;
(6)为新能源车电池防冻液电导率监测提出新的创新方案,推动这一领域传感器的研究发展及商业普及。