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信息描述
技术简介：
热解氮化硐(Pyrolytic Boron Nitride)是采用化学气相沉积工艺(CVD)制备的新型陶
瓷材料， 其结构特征与石墨极为相似。 具有优异的介电及绝缘性能、 密封性能、 高温强
度、 高化学惰性和各向异性的导热性能。 技术成熟度 成熟产品。 该技术目前处千应用拓
展阶段， 已作为耐高温加热器在MBE设备中开始应用验证
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