本发明涉及一种二维微机械双向扭转镜阵列及其制作方法,二维微机械双向扭转镜阵列包括电极基底以及设置在电极基底上的微镜单元,微镜单元包括微镜支撑结构层、通孔电极基底以及镜面结构层,微镜支撑结构层包括锚点、扭转梁、第一下电极以及第二下电极,通孔电极基底包括第一通孔电极、第二通孔电极以及第三通孔电极,第一通孔电极与第一下电极贴触,第二通孔电极与第二下电极贴触,所述第三通孔电极与锚点贴触,镜面结构层包括镜面以及镜面支撑结构,扭转梁通过其两端的锚点支撑并悬置于通孔电极基底上方,第一下电极和第二下电极关于扭转梁对称分布,改善了微镜阵列在光谱成像系统中的光场匹配性,简化了系统光路,促进了光谱成像系统小型化。
| 专利所属地区 | 专利类型 | 专利号/申请号/登记号 | 专利授权日期 | 专利证书图片 | 
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| 中国 | 发明专利 | ZL 2021 1 1541499.3 |