一种氧化锌基陶瓷溅射靶材的中温制备方法，其特征在于步骤依次为：(1)：采用氧化锌基纳米粉体，经过30～150MPa的单轴模压成型，保压时间为30～300s；(2)：将步骤(1)中的样品经150～300MPa的冷等静压，保压时间为60～600s；(3)：将步骤(2)中的样品放入箱式炉中温烧结，烧结温度为800～1300℃，升温速率为0.5～10℃/min，烧结时间为4～40h，降温速率为1～10℃/min；(4)：将步骤(3)中的样品经过切割、打磨、抛光，成规定尺寸；所述的氧化锌基纳米粉体是采用掺杂了硼、铝、镓、铟或者锡元素的掺杂氧化锌纳米粉体，掺杂量为0～18at％。靶材制备设备简单，成本低，适合于工业化生产。