硅属于间接带隙半导体,难以制备高效片上光源;硅光、铌酸锂光芯片需要与 InP 激光器异质集成。晶圆键合、外延转移工艺复杂度高,界面缺陷、热失配、耦合损耗大,低成本、高良率混合集成方案尚未成熟
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制备高效片上光源硅光、铌酸锂光芯片需要与 InP 激光器异质集成
光源硅光、铌酸锂光芯片