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纳米复合交换耦合稀土永磁薄膜/微磁体——微机电(MEMS)用

合作区域: 国内

拟投入总金额: 70.0万元

所属地域: 鄞州区

技术领域: 金属磁性材料

技术交易金额: 万元

截止日期: 2026-10-31

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信息描述

研发背景：

主要内容：

MEMS/微型传感器用稀土永磁薄膜需高剩磁比(SQR＞0.85)、高矫顽力(＞25kOe)、强磁各向异性，但溅射/外延生长中软磁α-Fe相易过量长大破坏交换耦合。

前期研究开发基础：

多层膜调制及退火处理可获部分交换耦合；第一性原理+微磁学模拟已指导少数薄膜体系设计。

现有的生产和研发的设备：

攻关目标：

制备NdFeB基或SmCo基纳米复合永磁薄膜，Mr/Ms≥0.85、Hc≥25kOe、(BH)max(膜等效)＞15MGOe，在Si基底上附着力合格，图案化精度≤10μm。

成果形式：

永磁薄膜样品、微磁学模拟数据库、VSM/AFM表征数据、发明专利及在MEMS器件上的验证报告