本发明提供了一种反射镜阵列空间光调制器芯片结构及其加工方法，涉及微光机电系统技术领域，本发明由多组等间距排列的微镜单元组成；所述微镜单元包括第一基底和第二基底；所述第一基底上设置有扭转梁和电气绝缘层，所述扭转梁下方开设有背腔，沿所述扭转梁中心轴线在所述电气绝缘层上对称分布设置有第一寻址电极和第二寻址电极，所述第一寻址电极和所述第二寻址电极上分布设有接触凸点；所述第二基底用于供操作人员加工镜面，在所述镜面上设有用于连接所述扭转梁的镜面锚点。本方法能够克服微镜阵列在光谱成像系统中光场匹配性差、固有扭转方式和阵列形式导致目标光学信息采集丢失的问题。